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PGI Freeform泰勒霍普森輪廓儀測量輪廓原理 泰勒?霍普森 的 PGI Freeform(相位光柵干涉)是一款多功能、高分辨率的三維自由曲面輪廓測量儀,用于高精度的自由曲面光學測量。它可以對自由曲面光學器件進行表面粗糙度和形狀分析。Form Talysurf PGI Freeform自由曲面測量系統可以測量環面、雙錐面、合成非球面、橢球面、NURBS樣條曲面、非球面柱面 、點云以及Zern
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Talysurf CCI三維形貌儀非接觸輪廓儀 Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI干涉原理,可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸,并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數據存儲器件,半導體器件,光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。
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